光伏行业生产工艺过程中通常使用HF和HNO3对硅料（单晶硅和多晶硅）进行酸洗，其废气特点是：含有大量NOx气体，浓度变化范围大，氧化度低，同时有含氟气体共存。对于该类气体，如需达到理想的处理效果，对设备、药剂及维护要求均较高。现综合考虑成本和操作因素，对于此类废气的药剂配方选择略作概述，以供客户参考。
| 序号 | 配方 | 维护要点 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 1 | NaOH：5% | 1、 检查pH值，当pH值低于13，应补加药剂。每班前一次。 2、 检查喷淋系统的喷嘴是否被堵塞。每周一次。 3、 更换药液，并洗塔，每月一次。 |
药剂配置难度较低。处理废气后的废水应排入废水处理站的废水收集池。 |
| 2 | NH3·H2O：8%~10% | 1、 检查pH值，当pH值低于12，应补加药剂。每班前一次。 2、 检查喷淋系统的喷嘴是否被堵塞。每两周一次。 3、 更换药液，并洗塔，每季度一次。 |
氨水有挥发性，配置时，有较难闻的气味，处理效果较好。 |
| 3 | （NH2）2CO：8%~10% pH：1~3 H2O2：2.5% |
1、观察处理效果，当处理效果不好时，应及时按配方要求补充(NH2) 2CO和H2O2。 2、检查pH值，当pH值高于3，应补充酸。每周检查一次。 3、检查喷嘴是否被堵塞，每半月一次。更换药剂并洗塔，每半年一次。 |
处理效果较好，成本较高，药剂条件难以控制和掌握。 |
注：
1、除了以上提供的配方，业主也可以根据实际情况，综合成本因素选择合适的处理方案。
2、鉴于光伏行业硅料酸洗的废气特点，无论选择何种配方，应严禁在药液中添加含Ca2+、Mg2+等可能造成沉淀和结垢的物质。
3、对于水泵和风机，应该按照常规维护保养措施进行养护，以保持良好的运转状况，尽可能延长使用寿命。
4、以上所述，是仅针对光伏行业硅料酸洗过程的废气处理所出现的问题而提出的，对于废气处理的通用问题，不再赘述。
光伏行业硅料酸洗废气处理药剂配方选择和比较